Вакуумный универсальный пост ВН 2000

Вакуумный универсальный пост ВН 2000 предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.

Область применения

Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях науки и техники.

Функциональность

Магнитораспыляющая система поста ВН 2000 обеспечивает:

• универсальность процесса, что позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
• высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
• сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
• получение особо чистых пленок;
• высокую адгезию пленок и подложки;
• возможность изменения структуры и свойств пленок;
• распыление нескольких материалов без разгерметизации объема;
• низкую пористость пленок даже при малых толщинах;
• небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру;
• высокую энергетическую эффективность процесса;
• использование для осаждения и травления широкого класса материалов.

Эксплуатация

Прибор предназначен для эксплуатации в стационарных лабораторных условиях при температуре окружающего воздуха от 15 до 25oС и относительной влажности не более 80%. Наличие в помещении агрессивных паров недопустимо.